集成光電子器件制造學(xué)教學(xué)案例

　　集成光電子器件以集成光電子技術(shù)為基礎(chǔ)，采用與集成電路（Integrated Circuit，IC）制造工藝完全兼容的工藝制造而成，具有光處理與傳輸功能的器件，是實(shí)現(xiàn)大容量、高速率信息傳輸?shù)年P(guān)鍵。“集成光電子器件制造學(xué)”是介紹支撐及引導(dǎo)光電子發(fā)展的基礎(chǔ)學(xué)科，本書(shū)是其配套學(xué)習(xí)教材，以案例示教，重在實(shí)操，鞏固理論學(xué)習(xí)和加深理解。本書(shū)共三篇13個(gè)案例，第1篇主要介紹典型無(wú)源和有源光電子器件/芯片的設(shè)計(jì)及其優(yōu)化，包括平面光波導(dǎo)設(shè)計(jì)及優(yōu)化、平面光波導(dǎo)分路器芯片設(shè)計(jì)及優(yōu)化、波分復(fù)用/解復(fù)用芯片和可調(diào)光衰減器設(shè)計(jì)及優(yōu)化；第2篇主要介紹集成光電子器件的制造技術(shù)，包括二氧化硅光子集成技術(shù)、絕緣襯上硅光子集成技術(shù)、磷化銦光子集成技術(shù)和絕緣襯上鈮酸鋰薄膜光子集成技術(shù)；第3篇主要介紹集成光電子器件封裝、測(cè)試與可靠性，包括光波導(dǎo)芯片與光纖端面耦合封裝、硅光子芯片與光纖垂直耦合封裝、半導(dǎo)體激光器芯片與光纖耦合封裝、硅基光電子器件異質(zhì)集成、無(wú)源光電子器件可靠性測(cè)試。

　　國(guó)家自然科學(xué)基金評(píng)審專家，Optik、Optical Fiber Technology等期刊審稿專家。主持和參與國(guó)家973項(xiàng)目3項(xiàng)、國(guó)家自科基金重點(diǎn)項(xiàng)目3項(xiàng)、國(guó)家自科基金項(xiàng)目2項(xiàng)、國(guó)家863計(jì)劃項(xiàng)目2項(xiàng)，其他省部級(jí)項(xiàng)目多項(xiàng)。發(fā)表學(xué)術(shù)論文60余篇，SCI收錄30余篇，EI收錄50余篇；申請(qǐng)發(fā)明專名40余項(xiàng)，授權(quán)20余項(xiàng)。獲省部級(jí)技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)1項(xiàng)。