InAs/AlSb 異質結型射頻場效應晶體管技術

　　與傳統(tǒng)半導體器件GaAs和GaN HEMTs相比，InAs/AlSb HEMTs作為典型的銻基化合物半導體（ABCS）器件具備更高的電子遷移率和電子飽和漂移速度，在高速、低功耗、低噪聲等應用方面擁有良好的發(fā)展前景。特別在深空探測方面，InAs/AlSb HEMTs作為深空探測的低噪聲放大器（LNA）的候選核心器件具有無可比擬的優(yōu)勢。因此，本文針對InAs/AlSb HEMTs器件開展了系統(tǒng)研究，在器件特性研究、模型建立、電路設計及制備工藝等方面進行了較為深入的探討。本書在體系上力求合理完整，可作為高等院校的微電子技術相關專業(yè)本科和研究生的科研參考資料，可作為電子制造工程師的參考書和微電子封裝企業(yè)職工教育培訓的教材。

　　關赫，博士，碩士研究生導師。畢業(yè)于西安電子科技大學，長期從事微電子集成電路方向研究，主持多項重量及省部級項目，發(fā)表論文10余篇，申請專利10余項，具有豐富的研發(fā)管理經(jīng)驗。