精密加工實(shí)用技術(shù)

前言
第一章 精密加工概述
第一節(jié) 精密加工的技術(shù)內(nèi)涵
一、精密加工的范疇
二、精密加工的特點(diǎn)
三、精密加工方法及其分類
第二節(jié) 精密加工體系及發(fā)展
一、精密加工的體系結(jié)構(gòu)
二、精密加工關(guān)鍵技術(shù)
三、精密加工的形成和發(fā)展
第二章 精密切削加工
第一節(jié) 精密切削機(jī)理
一、精密切削加工簡(jiǎn)介
二、精密切削加工機(jī)理
第二節(jié) 精密切削加工機(jī)床及其應(yīng)用
一、精密機(jī)床發(fā)展概況
二、精密切削機(jī)床主要部件
三、典型精密和超精密機(jī)床簡(jiǎn)介
第三章 精密磨削加工
第一節(jié) 精密磨削加工機(jī)理
一、磨削技術(shù)發(fā)展概述
二、精密磨削加工機(jī)理
三、精密磨削加工機(jī)床及其應(yīng)用
第二節(jié) 超精密磨削加工技術(shù)
一、超精密磨削機(jī)理
二、研磨技術(shù)
第四章 精密特種加工技術(shù)簡(jiǎn)介
第一節(jié) 概述
一、特種加工方法的種類
二、特種加工的特點(diǎn)
第二節(jié) 典型的精密特種加工技術(shù)
一、電火花加工
二、電解加工
三、高能束加工
四、超聲加工
第五章 金屬精密加工工藝及實(shí)例
第一節(jié) 精密加工與熱處理
一、精密加工和熱處理
二、熱處理和淬火變形
三、精密零件的熱處理
四、精密加工后的零件熱處理
五、熱處理后尚需進(jìn)行精密加工的零件
六、精密熱處理
七、結(jié)束語(yǔ)
第二節(jié) 超精密切削加工工藝及實(shí)例
一、超精加工工藝
二、金剛石刀具超精密車削的應(yīng)用及其發(fā)展
三、超聲振動(dòng)加工實(shí)例
四、特種珩磨工藝實(shí)例
五、研磨加工實(shí)例
第三節(jié) 特種加工工藝應(yīng)用實(shí)例
一、擠壓珩磨加工實(shí)例
二、光化學(xué)加工實(shí)例
三、高能束加工實(shí)例
四、電解加工實(shí)例
五、電火花加工實(shí)例
六、磨粒流工藝應(yīng)用實(shí)例
第四節(jié) 金屬超精密加工實(shí)例
一、球面、非球面反射鏡的精密切削
二、多面反射鏡的精密切削
三、硬磁盤(pán)基片的精密切削
四、模具的研磨、拋光
第五節(jié) 典型精密元件加工
一、精密平板和90。角尺加工
二、精密分度板(盤(pán))加工
三、精密球體加工
第六章 硬脆非金屬材料的精密加工實(shí)例
第一節(jié) 陶瓷加工
一、陶瓷的種類和性質(zhì)
二、陶瓷的研磨
三、陶瓷的拋光
第二節(jié) 磁頭的精密加工
一、薄膜型磁頭的超精密加工
二、加工方法和加工系統(tǒng)
三、v1r用磁頭的超精密加工
第三節(jié) 光學(xué)透鏡、棱鏡的加工
一、概述
二、影響光學(xué)元件加工精度的因素
三、非球面透鏡的超精密加工
第四節(jié) 反射光柵的加工
第五節(jié) 石英振子的加工
第六節(jié) 金剛石的超精密加工
一、金剛石的特性
二、金剛石戒面(鉆石戒面)的加工
三、金剛石刀具的加工
四、生物顯微組織切片刀的加工
五、硬度計(jì)用金剛石壓頭的加工
第七節(jié) 寶石的加工
一、概述
二、寶石加工用的磨料、磨具
三、寶石的切割
四、素面寶石加工
五、刻面寶石加工
六、圓珠及圓球的加工
七、寶石孔的加工
第七章 半導(dǎo)體基片的超精密加工
第一節(jié) 半導(dǎo)體基片的加工特性
一、概述
二、基片的規(guī)格和有關(guān)問(wèn)題
三、單晶的特性及基片的加工工序
第二節(jié) 半導(dǎo)體基片的加工技術(shù)
一、切片和集成塊分離切斷
二、磨削與倒角
三、基片的研磨
四、基片的腐蝕
五、基片的機(jī)械化學(xué)拋光
第三節(jié) 其他加工方法和加工裝置
一、藍(lán)寶石基片的加工
二、磷化銦(inp)基片的加工
第四節(jié) 半導(dǎo)體基片加工的外圍技術(shù)
一、基片的檢測(cè)
二、基片的清洗技術(shù)
三、基片的粘接及無(wú)蠟拋光
四、精密和超精密加工的環(huán)境設(shè)施
參考文獻(xiàn)