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離子束技術(shù)及應(yīng)用

定　價：￥15.80

作　者：	劉金聲編著
出版社：	國防工業(yè)出版社
叢編項：
標(biāo)　簽：	離子束

ISBN：	9787118013122	出版時間：	1995-01-01	包裝：
開本：	21cm	頁數(shù)：	315頁	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡介

　　本書分六章：電子轟擊離子源等離子體特性及設(shè)計基礎(chǔ); 離子光學(xué)系統(tǒng)及基本設(shè)計方法; 離子源結(jié)構(gòu)設(shè)計優(yōu)化法; 離子源陰極的設(shè)計方法; 離子束刻蝕（IBE）工藝基礎(chǔ); IBE在器件制造中的應(yīng)用.